一、核心供应链体系
1. 至纯科技(603690)
作为新凯来湿法清洗设备唯一战略合作伙伴,该公司已实现28nm及以上工艺节点的全线覆盖,其14nm以下制程设备正在中芯国际进行关键验证。技术突破方面,2024年斩获300%订单增量,2025年旗下至微科技成功切入先进制程供应链,其清洗解决方案完美契合国产替代战略需求。特别值得关注的是,其自主研发的清洗技术已通过国际半导体设备协会(SEMI)认证。
2. 新莱应材(300260)
在超高洁净领域构建技术壁垒,为刻蚀、薄膜沉积等核心设备提供管路系统及真空阀门组件。2024年第三季度斩获新凯来8000万元订单,2025年订单规模预计突破3亿元大关。其洁净度控制达到ISO14644-1 Class1级国际顶尖标准,较传统工艺提升两个数量级,已通过台积电、英特尔的交叉认证。
3.奥普光电(002338)
通过长光集智合资平台,独家供应光刻机曝光系统核心光学组件。其纳米级物镜技术已应用于新凯来原型机验证,深紫外物镜实现22nm分辨率突破。战略规划显示,2026年将量产适配EUV光刻机的光学模组,该技术可使芯片制程效率提升40%。最新研发的自由曲面镜组已进入小批量试制阶段。
4.江丰电子(688666)
作为PVD设备主靶材核心供应商,产品覆盖铝、钛、钽等关键材料,全面适配14nm及以上逻辑芯片制造。技术里程碑方面,2023年实现5nm制程靶材量产,2025年预计斩获超2亿元订单。其研发的复合靶材技术可使薄膜均匀性提升至±1.5%,较行业平均水平提高30%。
二、战略协同标的
1.深振业A(000006)
同属深圳国资体系,市场普遍预期其将作为新凯来资产整合平台。尽管当前尚未开展实质性业务合作,但其在产业园区运营、资本运作方面的经验,与新凯来形成战略互补。最新动态显示,双方正就共建半导体材料研究院进行磋商。
2.冠石科技(605588)
其掩膜版产品完美适配新凯来自对准四重图形曝光工艺,技术协同效应显著。虽然当前尚未签署合作协议,但实验室测试数据显示,其产品可使光刻精度提升15%。公司正在开发可变光罩技术,预计2025年完成验证。
三、生态配套企业
1. 利和兴(301013)
提供刻蚀、薄膜沉积设备全流程精密结构件及测试平台。2024年斩获新凯来7-8亿元订单,业务增长与设备产能扩张形成强联动。其研发的模块化测试系统,可使设备调试周期缩短30%,已申请12项发明专利。
2. 正帆科技(688596)
通过子公司供应先进制程气体输送模组(GasBox),2024年上半年半导体业务占比达51%,新凯来为其核心客户。其研发的智能压力控制系统,可使气体纯度保持99.9999%以上,较传统方案提升两个数量级。最新推出的循环利用系统,可使特种气体利用率提高25%。
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