ST元成 (603388): 回答：尊敬的投资者，您好，硅密（常州）电子设备有限公司为降低对进口零部件的依赖及成本，缩短设备制造周期，今年公司研发了化学品在线加热器，超纯水在线加热系统，部分产品已开始在客户处进行试用。 经过多年的技术开发和工艺积累，硅密（常州）电子设备有限公司在半导体清洗设备的技术储备主要有：半导体材料厂用湿法清洗设备，包括硅抛光片及外延片（6 寸、8 寸、12 寸），工艺路线 45nm~0.1um，第三代半导体碳化硅抛光片及外延片（6 寸、8 寸），高纯石英片/环/盘/炉管（400mm~560mm），硅环/硅电极（8 寸，12 寸）等；制造功率器件等 IC 电路芯片厂家所用湿法设备（6 寸，8 寸），工艺路线为 0.13um~0.35um。 未来硅密（常州）电子设备有限公司在槽式批处理湿法设备持续研究的同时，也将更加注重对单片式清洗设备的研发，积极争取半导体清洗设备在国产替代市场的份额。谢谢！

2023-08-17 16:13:03