网友提问 :董秘您好,请问目前咱们的PVD路线转换效率比LP路线高多少?
PVD路线石英舟成本节约上比LP路线1GW节省多少资金?
PVD路线相比LP路线还有哪些技术优势?
2023-09-14 17:37:13
麦迪科技 (603990): 回答:尊敬的投资者您好,以目前爬坡情况来看,PVD产线平均转换效率略高于LPCVD;相对来看, PVD技术石英件更换频率较低,对石英件需求较少,其成本在PVD产成品中成本占比较小;技术优势方面,PVD技术具有“三高三低”等优势,不存在绕镀情况,没有后续的清洗环节,致密层更加稳定,为指向性沉积,批量生产的成本相对更低。
2023-09-14 17:37:13
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