网友提问 :Q:请介绍一下隐形切割技术,在半导体行业中,隐形切割和砂轮切割的区别是什么?
2022-05-12 00:00:00
德龙激光 (688170): 回答:激光隐形切割技术是一种切割工艺,通过将脉冲激光的单个脉冲通过光学整形,让其透过材料表面在材料内部聚焦,在焦点区域能量密度较高,形成多光子吸收非线性吸收效应,使得材料改性形成空腔和裂纹,通过裂片实现切割的效果。砂轮切割是通过刀片高速旋转来完成材料的去除,从而实现芯片切割,由于刀片的高速旋转,往往需要使用纯水进行冷却和冲洗,那么刀片高速旋转产生的压力和扭力,纯水的冲洗产生的冲击力以及切割下来碎屑,会影响良率。公司是国内少数几家掌握激光隐形切割技术的企业之一。在半导体及光学领域,集成电路芯片的制程中,更大的晶圆被切割成越来越多的不断缩小的芯片,需要高精度、高稳定性的加工设备。公司使用自产超快激光器,将激光用于半导体晶圆隐形切割,隐形切割为无粉尘、无材料损耗的高质量切割,切割速度可达到1,000mm/s,切割精度优于2μm,保证切割良率。
2022-05-12 00:00:00
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精密激光加工设备及激光器的研发、生产与销售,并为客户提供激光加工服务。
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