奕瑞科技 (688301): 回答：尊敬的投资者您好，公司近期推出了首个完全自主知识产权的残余气体分析仪（RGA，Residual Gas Analyzer）产品——高灵敏度QRGA OIS系列。残余气体分析仪RGA是质谱仪Mass Spectrometer的一个分支，通过动态分析真空系统中各种气体分压强的变化，可以有效监控真空环境工艺的条件，为各种真空工艺达到可测、可控、可重复提供有效的工具。在半导体制造、显示面板制造等领域的智能制造过程中，残余气体分析仪RGA已成为半导体制程工艺中一种行之有效的检测手段，可实现工艺过程中复杂气体组分的实时监测，加强电子器件的高品质管控，减少产品缺陷率，助力企业提升良率及效率。感谢您对公司的关注和提问，谢谢。

2023-12-07 16:53:00