按产品

半导体专用温控设备收入45058.78万(61.33%)

成本28422.96万利润16635.82万

毛利率36.92%

半导体专用工艺废气处理设备收入21921.71万(29.84%)

成本15190.63万利润6731.08万

毛利率30.71%

零配件及支持性设备收入3014.48万(4.1%)

成本2355.79万利润658.69万

毛利率21.85%

晶圆传片设备收入1999.49万(2.72%)

成本1901.72万利润97.77万

毛利率4.89%

维护、维修等服务收入1438.58万(1.96%)

成本1014.23万利润424.35万

毛利率29.5%

废品收入收入31.4万(0.04%)

成本0万利润31.4万

毛利率0%

按地区

境内收入73464.45万(100%)

成本48885.33万利润24579.12万

毛利率33.46%