按产品

半导体专用温控设备收入64930.5万(69.02%)

成本42227.91万利润22702.6万

毛利率34.96%

半导体专用工艺废气处理设备收入21973.05万(23.36%)

成本17025.18万利润4947.87万

毛利率22.52%

零配件及支持性设备收入3436.91万(3.65%)

成本3099.78万利润337.13万

毛利率9.81%

晶圆传片设备收入2836.97万(3.02%)

成本2737.96万利润99.02万

毛利率3.49%

维护、维修等服务收入872.78万(0.93%)

成本520.06万利润352.72万

毛利率40.41%

废品收入收入26.36万(0.03%)

成本0万利润26.36万

毛利率0%

按地区

境内收入94076.58万(100%)

成本65610.88万利润28465.7万

毛利率30.26%