按行业

半导体设备收入74228.31万(100%)

成本45758.1万利润28470.22万

毛利率38.35%

按产品

半导体专用设备收入67680.6万(91.18%)

成本40525.59万利润27155.02万

毛利率40.12%

零配件及支持性设备收入5134.63万(6.92%)

成本4129.77万利润1004.85万

毛利率19.57%

维护、维修等服务收入1413.08万(1.9%)

成本1102.74万利润310.35万

毛利率21.96%

其中:半导体专用温控设备收入46061.59万(62.05%)

成本27999.02万利润18062.57万

毛利率39.21%

其中:半导体专用工艺废气处理设备收入21619.01万(29.13%)

成本12526.56万利润9092.45万

毛利率42.06%

按地区

中国大陆收入74228.31万(100%)

成本45758.1万利润28470.22万

毛利率38.35%