网友提问 ：按行业设备厂商公开测算，一台典型的单片湿法清洗机台改用臭氧水方案后，一年可节省约 58.7 万升硫酸，折合运行成本约50万美元。同时含硫废酸属于危废，处理费用按吨计价，且监管趋势持续收紧。硫酸用量越大，这项负担越重。设备厂商公开的对比数据显示，臭氧水方案可将化学品消耗降低约94%,超纯水消耗降低约 70%，因为省去了大量冲洗硫残留的环节。请问作为湿法设备专家，臭氧水是否比传统SPM更加经济、环保？
2026-07-05 10:35:09
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2026-08-11 16:30:03
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2026-08-11 16:30:03
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公司简介：
公司是2001年9月25日经北京市人民政府经济体制改革办公室[京政体改股函[2001]54号]文批准,由七星集团作为主发起人,以经营性资产出资,联合吉乐集团、硅元科电、中国华融、王荫桐和周凤英共同发起设立的股份有限公司。
经营范围：
半导体基础产品的研发、生产、销售和技术服务。
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办公地址北京市经济技术开发区文昌大道8号5层
主营收入2016100
