新时达 (002527): 回答：答：半导体机器人作为半导体设备的核心零部件，技术壁垒高，制造难度大，因长期受外资厂商垄断，目前国产化率较低，存在“卡脖子”的现象。半导体机器人的形态与工业机器人的形态有较大的不同。由于半导体行业对机器人的速度、精度以及洁净度均有较高的要求，且就其产品而言，能够保持持续稳定的生产直接决定了芯片的良品率，因此这一行业对相关设备及零部件的可靠性和安全性的要求很高。可以说，半导体机器人的技术难度及应用场景的工艺难度，均在工业机器人之上。公司在调研了行业相关情况之后，投入资源研发了半导体机器人。公司半导体机器人可以在 EFEM、Stocker、炉管、湿法、涂胶显影、薄膜等各类半导体设备的一个标准大气压环境或者真空环境中搬运晶圆。目前公司半导体机器人已有销售，并在多家半导体设备厂家已有测试及应用，但是由于半导体行业属性，还需持续的人才引进以及持续的研发投入。

2024-09-18 00:00:00