网友提问 ：张总你好，请问目前我们公司是否可以制造纳米电机？
AI回答：
技术基础
赛微电子在MEMS领域掌握了一系列先进的制造技术，包括深反应离子刻蚀（DRIE）、晶圆键合、硅通孔（TSV）等。这些技术是制造微型机电系统（MEMS）和纳米机电系统（NEMS）的关键工艺，能够实现高精度的微结构加工和三维结构构建。例如，DRIE技术可以实现高纵横比和垂直侧壁的刻蚀，这对于制造纳米电机中的微小机械部件至关重要。
2025-06-23 16:13:35
赛微电子最新互动问答
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2025-06-30 11:30:12
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2025-06-30 11:30:12
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赛微电子
法定名称：北京赛微电子股份有限公司
公司简介：
北京耐威科技股份有限公司由耐威集思整体变更设立的股份有限公司。
经营范围：
MEMS工艺开发及晶圆制造、GaN外延材料生长及芯片设计。
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