网友提问 ：董秘您好，据中科院半导体研究所官方微信公众号发布的研究成果，目前针对EUV（极紫外光）掩膜板的清洗过程中，包括颗粒去除、表面损伤控制、污染防止以及副产物清除等，都具有较大的技术挑战。目前中科院的研究结论认为，一种有效的解决方案是采用臭氧水清洗。臭氧水能够确保有效去除EUV掩膜板的表面有机物和颗粒，而不会导致材料的氧化或表面损伤。请问，公司的臭氧水清洗设备能否满足EUV掩膜板的清洗精度要求？
2025-07-01 09:59:52
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2025-07-04 17:00:12
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国林科技
法定名称：青岛国林科技集团股份有限公司
公司简介：
1994年12月13日,丁香鹏、陈建明与朱若英以货币形式设立“青岛国林实业有限责任公司”。
经营范围：
专业从事臭氧产生机理研究、臭氧设备设计与制造、臭氧应用工程方案设计与臭氧系统设备安装、调试、运行及维护等业务。
注册地址山东省青岛市市北区瑞昌路168号
办公地址山东省青岛市崂山区株洲路188号甲
主营收入13400
