同飞股份 (300990): 回答：尊敬的投资者您好，半导体器件制造设备是极其精密的机电产品，包括单晶炉、晶圆成型设备、抛光机、刻蚀机等，工艺过程中的温度波动大小关系到半导体产品的良品率和精度。半导体器件制造设备专用温控设备是针对其高精度、高可靠性而设计开发的，能够不间断的提供温度可控的循环介质，保障半导体器件制造设备腔室所需的工艺加工温度，满足温度变化范围大、负载瞬间变化、设定温度随时改变等工况要求，能够达到±0.1℃甚至更高温控精度，主要应用于清洗、研磨、抛光、退火、刻蚀、PVD、CVD等半导体器件加工工艺过程。谢谢！

2024-04-23 16:01:20