仕净科技 (301030): 回答：您好，光电、光伏、精密电子等泛半导体企业在产品制造工艺流程中会持续产生各类复杂污染物，主要包括NOx、酸碱废气、特气危气、VOCs、粉尘和废水等。经过制程污染防控系统的高效处理：首先，能够防止生产工艺设备被腐蚀、污染，保持作业机台的洁净度，降低杂质掺入对产品的不良影响，保障并提升产品生产良率；其次，最大程度的杜绝因特殊气体、危险气体的使用可能引发的生产事故（爆炸、中毒、失火等），保障生产安全、生命安全和财产安全；最后，实现制程污染物的排放达标，符合行业标准的排放要求。因此，制程污染防控系统对泛半导体产业而言，既是解决企业达标排放的环保装备，也是保障企业安全生产、提高产品良率的重要辅助设备，是企业生产系统不可或缺的组成部分，其与厂房动力设备、原辅料输送设备共同构成了泛半导体企业的厂务系统，为该行业内企业核心生产工艺设备运转提供支持。感谢关注！

2021-07-30 11:02:17