安培龙 (301413): 回答：尊敬的投资者朋友，您好！力传感器按照测量原理，可分为应变式、电容式、光电式、压电式等多种技术路线，其中应变式是当前力传感器最为成熟且应用最广泛的技术路线（应变式力传感器核心器件中的应变片包括金属电阻应变片和半导体硅应变片两种）。本公司六维力传感器主要为基于MEMS半导体硅应变片及玻璃微熔工艺研发制造，此工艺具有如下优势：1、较低的成本。因与公司汽车玻璃微熔压力传感器工艺兼容，可利用现有大批量生产设备和供应链，生产制造成本会降低。同时，半导体硅应变片的生产工艺因为采用半导体制造工艺，成本较金属应变片具有一定的优势。2、灵敏度高。主要得益于半导体硅应变片的高灵敏度特性。3、长期稳定性及可靠性高。玻璃微熔工艺确保了半导体硅应变片与弹性体之间的稳定连接，有效地提高了力传感器的稳定性和可靠性。谢谢您的关注！

2024-12-02 11:30:12