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网友提问 :高精度对准是光刻机中最为核心的技术之一,它需要将芯片上的图案与光刻机中的掩膜进行高精度的对齐。这需要光刻机具备非常高的运动控制精度和位置测量精度,以确保对准的准确性和一致性。公司的运动控制精度能达到吗?

2024-09-07 09:44:11

固高科技 (301510): 回答:
www.tetegu.com

2024-11-06 15:00:11

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固高科技

法定名称:
固高科技股份有限公司
公司简介:
1999年10月29日,公司前身固高科技(深圳)有限公司成立。
经营范围:
运动控制及智能制造的核心技术研发
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64500