网友提问 ：你好，贵司S300-D（12 寸单片湿法平台）是当前公司对标 HBM、3D 堆叠的主力平台，支持工艺：SPM 高温硫酸清洗，背面蚀刻 Backside Etch（HBM 减薄后背面刚需）， Pre-clean 预清洗， BEVEL 斜边清洗 / 边缘处理，Finetch 精细清洗、单片磷酸清洗， 目前该设备技术路线是 日韩路线 还是欧美路线工艺? 是否可以平替日韩进口设备？
2026-11-13 17:37:31
至纯科技最新互动问答
- 你好，去年25年Q4营收4.88亿 ，去年全年最低单季，大量原定四季度验收项目后移，截止目前11月4号，今年客户项目验收进度是否已经开始恢复正常水平，是否有机会加快客户验收进度！ 且贵司今年新增订单大幅度增长，存货42.08亿也历史新高，但是客户项目验收进度没有改善，导致业绩不及预期，如何做改善？
2026-11-13 17:31:24
- 你好，截至三季度末，公司存货42.08亿元，合同负债16.90亿元， 加上贵司披露合计在手订单（含大宗气长期供气订单）：144.55 亿元，剔除长期供气订单还有63.99 亿元， 在手订单储备丰厚，但是客户项目验收慢的问题什么时候解决？
2026-11-13 17:31:24
- 你好，贵司前三季度存货42.08亿，历史新高，说明在途业绩42.08亿订单等待客户验收确认，贵司采取哪些措施，加快客户验证签收转化成业绩？
2026-11-13 17:31:24
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法定名称：上海至纯洁净系统科技股份有限公司
公司简介：
2000年11月13日,公司前身上海至纯洁净系统科技有限公司成立。2011年9月9日,公司全体股东一致同意将公司组织形式由有限责任公司整体变更为股份有限公司。
经营范围：
半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售,以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。
注册地址上海市闵行区紫海路170号
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主营收入164100
