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网友提问 :3、公司湿法设备在先进制程的技术积累及订单情况如何?

2023-06-30 00:00:00

至纯科技 (603690): 回答:答:公司湿法设备聚焦芯片制造的前道工艺,高端产品包括SPM高温硫酸、去胶、晶背清洗等清洗设备。其中单片SPM工艺应用贯穿整个先进半导体的前、中段工艺,是所有湿法工艺中应用最多的一种设备,SPM 工艺被公认是性能要求最高的工艺,也是最具挑战的湿法工艺设备。在至纯科技的单片SPM获得突破之前,所有的单片SPM设备全部由国外厂商所垄断。公司在核心工序段的高阶设备累计订单量近20台。

2023-06-30 00:00:00

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至纯科技

法定名称:
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
公司简介:
2000年11月13日,公司前身上海至纯洁净系统科技有限公司成立。2011年9月9日,公司全体股东一致同意将公司组织形式由有限责任公司整体变更为股份有限公司。
经营范围:
半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售,以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。
注册地址
上海市闵行区紫海路170号
办公地址
上海市闵行区紫海路170号
主营收入