网友提问 ：2、请问公司湿法清洗设备有没有跟动研发更先进产品？
2023-09-30 00:00:00
至纯科技 (603690): 回答：答：公司一直跟动客户进行研发制造，目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。单片硫酸设备为湿法设备中难度最高的工艺机台，公司S300 SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线，月产能最高可达6万片次以上。单设备在用户量产线上的累计产量已超过20万片次，是为高阶湿法设备国产替代进口的重要里程碑。目前公司是国内单片硫酸设备达到上述单机台量产指标的唯一厂商。
2023-09-30 00:00:00
至纯科技最新互动问答
- 1、请问公司湿法设备目前进展如何？
2023-09-30 00:00:00
- 贵公司激光器最大功率可达多少？
2023-09-18 16:58:17
- 您好，请问子公司波汇科技是否有光刻工艺和纳米压印技术，谢谢
2023-09-18 16:58:17
- 请问公司是否参与到国产光刻机的研发与制造之中？
2023-09-18 16:58:12
- 董秘，您好。贵司子公司波汇科技在光通信领域有所建设，能否简述下波汇科技在该领域的技术创新、应用及未来潜力？
2023-09-18 16:58:12
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至纯科技
法定名称：上海至纯洁净系统科技股份有限公司
公司简介：
2000年11月13日,公司前身上海至纯洁净系统科技有限公司成立。2011年9月9日,公司全体股东一致同意将公司组织形式由有限责任公司整体变更为股份有限公司。
经营范围：
半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售,以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。
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