网友提问 ：请问贵司目前产能情况？以及是否能满足订单需求？还有后续的扩产计划？
2023-07-10 17:01:25
芯源微 (688037): 回答：目前公司在沈阳有两个厂区，在上海有一个厂区。沈阳飞云路厂区主要生产后道、小尺寸领域设备；沈阳彩云路厂区主要生产前道Track和前道物理清洗机；上海临港厂区主要规划生产前道浸没式Track、化学清洗机等产品，临港厂区已于今年年初完成主体结构封顶，并将尽快投入使用。未来公司会视订单情况进一步对产能进行补充。
2023-07-10 17:01:25
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芯源微
法定名称：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
公司简介：
2002年12月17日,公司前身沈阳芯源先进半导体技术有限公司成立。
经营范围：
半导体专用设备的研发、生产和销售。
注册地址辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
办公地址辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号
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