网友提问 ：按行业设备厂商公开的测算，一台典型的单片湿法清洗机台改用臭氧水方案后，一年可节省约 58.7 万升硫酸，折合运行成本约 50 万美元。同时含硫废酸属于危废，处理费用按吨计价，且监管趋势持续收紧。硫酸用量越大，这项负担越重。设备厂商公开的对比数据显示，臭氧水方案可将化学品消耗降低约 94%，超纯水消耗降低约 70%，因为省去了大量冲洗硫残留的环节。请问，臭氧水是否比传统SPM更加经济、环保？
2026-07-30 15:43:11
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盛美上海
法定名称：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
公司简介：
2005年5月17日,公司前身盛美半导体设备(上海)有限公司成立。
经营范围：
半导体专用设备的研发、生产和销售。
注册地址中国(上海)自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
办公地址中国(上海)自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
主营收入147600
