盛美上海 (688082): 回答：答：公司在光刻机的购入方面并非优先选择先进的，KrF-line是公司首要的目标，但目前选定的最终型号还未定，国产的和国际的都可以。选KrF-line的原因主要是以下几点：1）KrF-line Track设备的市场最大，因为它的工艺步数最多，包含先进工艺和成熟工艺；2）国外某公司今年年底会推出400WPH的下一代KrF-line的光刻机，这要求Track需要做到450WPH的高产出率；3）300 WPH的KrF-line型号Track设备是公司进入市场的第一个产品，同时今年公司也将开发出浸润式的ArF Track设备。因此目前公司拟定的策略是先从KrF-line和300WPH切入，同时再逐步进行400WPH的开发。此外，公司的Track设备的目标不仅是解决国产化的问题，还希望进入全球市场。

2024-01-26 00:00:00