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网友提问 :您好,公司作为光场匀化器龙头,在已经有成熟的DUV用基础上是否有EUV光刻机的研究开发工作

2023-09-18 17:27:39

炬光科技 (688167): 回答:尊敬的投资者您好,公司的光场匀化器产品供应给世界顶级光学企业A公司,最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。公司根据客户的不同型号需求,匹配不同波长的光场匀化器,目前产品已经用于KrF, ArF, ArF浸没式等DUV光刻机。公司光场匀化器产品目前没有用于EUV光刻机,由于EUV光刻机和DUV光刻机光学工作原理不同。感谢您对公司的关注!

2023-09-18 17:27:39

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炬光科技

法定名称:
西安炬光科技股份有限公司
公司简介:
2007年9月21日,公司前身西安阿格斯光电科技有限公司成立。
经营范围:
从事激光行业上游的高功率半导体激光元器件(产生光子)、激光光学元器件(调控光子)的研发、生产和销售。
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办公地址
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