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| 2026-06-30 | 福晶科技 | 16.61万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 新莱应材 | 14.66万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 苏大维格 | 19.33万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微电子 | 4.48万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 菲沃泰纳米科技 | 31.22万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 裕太微电子 | 5.38万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 茂莱光学 | 3.1万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 4.71万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 波长光电 | 9.77万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 欧莱新材 | 7.22万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 汇成真空 | 7万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 西安奕材 | 0.86万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 摩尔线程 | 0.06万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 昂瑞微 | 0.04万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 沐曦股份 | 0.04万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 强一股份 | 2.2万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 恒运昌股份 | 0万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 北芯生命 | 0.06万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 中电科蓝天科技 | 0.05万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 易思维 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 视涯科技 | 0.13万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 泰金新能 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 有研金属复材 | 0.04万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 盛合晶微 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 联讯仪器 | 0万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 长进光子 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 臻宝科技 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 福晶科技 | 18万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 苏大维格 | 16.03万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中微半导体设备 | 4.1万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 芯源微电子 | 7.44万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 英诺激光 | 11.88万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 3.35万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 燕东微电子股份 | 16.22万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 茂莱光学 | 4.11万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 8.01万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 强一股份 | 3.39万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 福晶科技 | 23万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 洪田股份 | 12万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中微半导体设备 | 5.3万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微电子 | 9.73万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 腾景科技 | 4.05万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 英诺激光 | 15.77万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 4.18万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 东田微 | 1.88万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 德科立光电子 | 1.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 茂莱光学 | 3.59万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 9.13万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 波长光电 | 10.55万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 汇成真空 | 7.22万股 | 减持 |
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