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| 2025-09-30 | 福晶科技 | 241万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 奥普光电 | 141万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 阿石创 | 179万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 48.8万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 100.01万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 55.3万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 茂莱光学 | 33.35万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 121.41万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 波长光电 | 100万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 汇成真空 | 82.77万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 福晶科技 | 296万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 奥普光电 | 159万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 福光股份 | 299万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 83.55万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华辰装备 | 179万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 142万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 腾景科技 | 37万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中旗新材 | 15万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 98.6万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 磁谷科技 | 96万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 茂莱光学 | 53.88万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 182.6万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 波长光电 | 168.2万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 54.1万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 汇成真空 | 121.66万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 钧崴电子 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 赛分科技 | 0.08万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 惠通科技 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 超研股份 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 兴福电子 | 0.1万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 海博思创 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 毓恬冠佳 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 汉朔科技 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 弘景光电 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 胜科纳米 | 0.05万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 浙江华远 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 首航新能 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 泰禾股份 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 宏工科技 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 众捷汽车 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 新恒汇 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 福晶科技 | 261万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 福光股份 | 224万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 中微公司 | 80.8万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 华辰装备 | 172.28万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 芯源微 | 158.5万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 拓荆科技 | 95.1万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 茂莱光学 | 53.88万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 中科飞测 | 190.5万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 波长光电 | 168.65万股 | 增持 |
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