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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 155089 | 增持 | 0.999 | 0.0166% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 21416 | 新进 | 0.920 | 0.0034% | 2025-12-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 18202 | 增持 | 0.999 | 0.0029% | 2024-06-30 |
| 4 | 中微半导体设备 | 11601 | 减持 | 0.999 | 0.0019% | 2023-12-31 |
| 5 | 中微半导体设备 | 17388 | 减持 | 0.999 | 0.0028% | 2023-09-30 |
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