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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 1522113 | 增持 | 0.999 | 0.1625% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 1135546 | 增持 | 0.999 | 0.1814% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 671787 | 减持 | 0.999 | 0.1073% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 794956 | 新进 | 0.999 | 0.1270% | 2025-09-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 213555 | 新进 | 0.999 | 0.0343% | 2024-12-31 |
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