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| 2026-09-30 | 北方华创 | 185.54万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 精测电子 | 642.8万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 中微公司 | 297.6万股 | 不变 |
| 2026-09-30 | 芯源微 | 347.02万股 | 不变 |
| 2026-09-30 | 拓荆科技 | 194.26万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华海清科 | 489.27万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 富创精密 | 512.38万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 燕东微 | 1836.74万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华虹宏力 | 270.93万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 恒运昌 | 160.09万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 北方华创 | 158.4万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 精测电子 | 485.01万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中微公司 | 297.6万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 347.02万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 概伦电子 | 1533.75万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 146.49万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 473.32万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 富创精密 | 461.19万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 燕东微 | 1607.31万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 敷尔佳 | 0.07万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 华虹宏力 | 196.74万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 30.81万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 强一股份 | 0.03万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 双欣材料 | 0.09万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 新广益 | 0.02万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 至信股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 恒运昌 | 143万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 北芯生命 | 0.15万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 电科蓝天 | 0.17万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 易思维 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 视涯科技 | 0.63万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 盛龙股份 | 0.17万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 泰金新能 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 有研复材 | 0.08万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 大普微 | 0.12万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 福恩股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 盛合晶微 | 0.24万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 联讯仪器 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 春光集团 | 0.03万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 长进光子 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 臻宝科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 惠科股份 | 0.65万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 华润新能 | 8.41万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 振石股份 | 0.08万股 | |
| 2026-06-30 | 世盟股份 | 0.01万股 | |
| 2026-06-30 | 固德电材 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 慧谷新材 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 红板科技 | 0.03万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 三瑞智能 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 埃泰克 | 0.01万股 | 新进 |
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