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| 2023-12-31 | 北方华创 | 138.32万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 日发精机 | 1087.22万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 新莱应材 | 277.42万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 精测电子 | 369.7万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 中微公司 | 208.79万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 柯力传感 | 324.4万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 华辰装备 | 219.24万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 芯源微 | 228.14万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 芯碁微装 | 33.11万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 盛美上海 | 18.61万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 概伦电子 | 460.18万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 翱捷科技 | 24.11万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 拓荆科技 | 141.71万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 峰岹科技 | 158.79万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 华海清科 | 161.05万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 广立微 | 45.49万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 富创精密 | 248.77万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 鼎泰高科 | 279.05万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 凌玮科技 | 0.03万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 格力博 | 0.31万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 华塑科技 | 0.02万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 陕西能源 | 0.38万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 索辰科技 | 0.02万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 晶升股份 | 184.27万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 晶合集成 | 0.74万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 芯联集成 | 1.38万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 友车科技 | 0.03万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 慧智微 | 151.41万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 中科飞测 | 412.9万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 飞沃科技 | 0.02万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 安凯微 | 0.1万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 美硕科技 | 0.02万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 华丰科技 | 0.07万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 莱斯信息 | 0.03万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 时创能源 | 0.03万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 芯动联科 | 0.06万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 豪恩汽电 | 0.03万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 朗威股份 | 0.03万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 恒工精密 | 0.02万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 致尚科技 | 0.05万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 国科恒泰 | 0.12万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 天承科技 | 0.01万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 盘古智能 | 0.04万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 昊帆生物 | 0.03万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 苏州规划 | 0.02万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 精智达 | 0.02万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 维科精密 | 0.04万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 航材股份 | 1.5万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 港通医疗 | 0.02万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 光格科技 | 0.17万股 | 新进 |
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