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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 149802 | 新进 | 0.999 | 0.0160% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 949385 | 减持 | 0.999 | 0.1528% | 2024-09-30 |
| 3 | 中微半导体设备 | 1467469 | 不变 | 0.999 | 0.2362% | 2024-06-30 |
| 4 | 中微半导体设备 | 1467469 | 增持 | 0.999 | 0.2370% | 2024-03-31 |
| 5 | 中微半导体设备 | 1272352 | 减持 | 0.999 | 0.2055% | 2023-12-31 |
| 6 | 中微半导体设备 | 1369206 | 增持 | 0.999 | 0.2215% | 2023-09-30 |
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