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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 2126412 | 增持 | 0.999 | 0.2269% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 635740 | 减持 | 0.999 | 0.1015% | 2025-12-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 942543 | 增持 | 0.999 | 0.1505% | 2025-09-30 |
| 4 | 中微半导体设备 | 680578 | 减持 | 0.999 | 0.1087% | 2025-06-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 684294 | 增持 | 0.999 | 0.1100% | 2024-12-31 |
| 6 | 中微半导体设备 | 486882 | 减持 | 0.999 | 0.0784% | 2024-06-30 |
| 7 | 中微半导体设备 | 535094 | 减持 | 0.999 | 0.0864% | 2024-03-31 |
| 8 | 中微半导体设备 | 541363 | 减持 | 0.999 | 0.0874% | 2023-12-31 |
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