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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 59615 | 减持 | 0.530 | 0.0064% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 144636 | 增持 | 0.999 | 0.0231% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 109636 | 增持 | 0.999 | 0.0175% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 91314 | 新进 | 0.999 | 0.0146% | 2025-09-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 154435 | 减持 | 0.999 | 0.0248% | 2024-12-31 |
| 6 | 中微半导体设备 | 179836 | 减持 | 0.999 | 0.0289% | 2024-09-30 |
| 7 | 中微半导体设备 | 204688 | 减持 | 0.999 | 0.0329% | 2024-06-30 |
| 8 | 中微半导体设备 | 252490 | 减持 | 0.999 | 0.0408% | 2024-03-31 |
| 9 | 中微半导体设备 | 655471 | 增持 | 0.999 | 0.1058% | 2023-12-31 |
| 10 | 中微半导体设备 | 627112 | 增持 | 0.999 | 0.1014% | 2023-09-30 |
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