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| 2024-09-30 | 北方华创 | 74.1万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 精测电子 | 408.14万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 万业企业 | 2105.27万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 中微公司 | 176.7万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 芯源微 | 361.22万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 拓荆科技 | 202.48万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 华海清科 | 182.4万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 华大九天 | 198.78万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 富创精密 | 568.41万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 中科飞测 | 450.28万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 北方华创 | 76.28万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 新莱应材 | 43.18万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 精测电子 | 330万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 长川科技 | 340万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 江丰电子 | 5.25万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 万业企业 | 1973.49万股 | 不变 |
| 2024-06-30 | 九华旅游 | 0.01万股 | 不变 |
| 2024-06-30 | 中微公司 | 173.5万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 芯源微 | 246万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 华峰测控 | 13.88万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 拓荆科技 | 192.21万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 华海清科 | 126万股 | 不变 |
| 2024-06-30 | 华大九天 | 216万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 富创精密 | 535万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 中科飞测 | 460万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 中仑新材 | 0.08万股 | 新进 |
| 2024-03-31 | 北方华创 | 88.6万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 精测电子 | 368万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 万业企业 | 1973.49万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 中微公司 | 180万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 芯源微 | 228万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 拓荆科技 | 132万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 华海清科 | 126万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 华大九天 | 210万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 富创精密 | 347.24万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 中科飞测 | 417.27万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 北方华创 | 122.17万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 新莱应材 | 45.89万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 精测电子 | 375.74万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 长川科技 | 466万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 圣邦股份 | 0.19万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 长电科技 | 28.32万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 万业企业 | 1860万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 九华旅游 | 0.01万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 兆易创新 | 0.01万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 中微公司 | 207万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 芯源微 | 220.61万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 斯达半导 | 0.01万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 华峰测控 | 38.5万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 拓荆科技 | 133.93万股 | 不变 |
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