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| 2024-03-31 | 北方华创 | 88.6万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 精测电子 | 368万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 万业企业 | 1973.49万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 中微公司 | 180万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 芯源微 | 228万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 拓荆科技 | 132万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 华海清科 | 126万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 华大九天 | 210万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 富创精密 | 347.24万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 中科飞测 | 417.27万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 北方华创 | 122.17万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 新莱应材 | 45.89万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 精测电子 | 375.74万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 长川科技 | 466万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 圣邦股份 | 0.19万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 长电科技 | 28.32万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 万业企业 | 1860万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 九华旅游 | 0.01万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 兆易创新 | 0.01万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 中微公司 | 207万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 芯源微 | 220.61万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 斯达半导 | 0.01万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 华峰测控 | 38.5万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 拓荆科技 | 133.93万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 纳芯微 | 0.01万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 华海清科 | 138.69万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 华大九天 | 289.11万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 富创精密 | 232.34万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 微导纳米 | 38.2万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 杰华特 | 1.91万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 裕太微 | 1.45万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 中科飞测 | 418.48万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 逸飞激光 | 0.02万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 敷尔佳 | 0.06万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 民爆光电 | 0.04万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 蓝箭电子 | 0.06万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 碧兴物联 | 0.02万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 科净源 | 0.02万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 德福科技 | 0.1万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 固高科技 | 0.04万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 协昌科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 广钢气体 | 0.4万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 乖宝宠物 | 0.06万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 波长光电 | 0.03万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 泰凌微 | 0.07万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 斯菱股份 | 0.03万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 浩辰软件 | 0.01万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 思泉新材 | 0.01万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 天元智能 | 0.02万股 | 新进 |
| 2023-09-30 | 北方华创 | 102.9万股 | 增持 |
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