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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 3687011 | 减持 | 0.999 | 0.3935% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 4013372 | 增持 | 0.999 | 0.6410% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 100000 | 减持 | 0.200 | 0.0160% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 4500000 | 减持 | 0.999 | 0.7187% | 2025-09-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 7000000 | 减持 | 0.999 | 1.1180% | 2025-06-30 |
| 6 | 中微半导体设备 | 7200000 | 增持 | 0.999 | 1.1569% | 2025-03-31 |
| 7 | 中微半导体设备 | 6900000 | 减持 | 0.999 | 1.1087% | 2024-12-31 |
| 8 | 中微半导体设备 | 6902944 | 减持 | 0.999 | 1.1110% | 2024-09-30 |
| 9 | 中微半导体设备 | 7000000 | 减持 | 0.999 | 1.1267% | 2024-06-30 |
| 10 | 中微半导体设备 | 7390000 | 增持 | 0.999 | 1.1933% | 2024-03-31 |
| 11 | 中微半导体设备 | 5700000 | 减持 | 0.999 | 0.9204% | 2023-12-31 |
| 12 | 中微半导体设备 | 7800000 | 增持 | 0.999 | 1.2617% | 2023-09-30 |
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