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| 2026-06-30 | 长川科技 | 16.29万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 圣邦股份 | 24.76万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 14.07万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 英杰电气 | 38.09万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 芯朋微 | 35.63万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 思瑞浦 | 15.75万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯碁微装 | 11.46万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 5.83万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 13.92万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 奥迪威 | 61.79万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 杰华特 | 33.81万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 9.95万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 精智达 | 5.5万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 32.09万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 锡华科技 | 0.02万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 健信超导 | 0.03万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 至信股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 恒运昌 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 振石股份 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 林平发展 | 0万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 电科蓝天 | 0.07万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 易思维 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 泰金新能 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 红板科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 有研复材 | 0.07万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 埃泰克 | 0.04万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 盛合晶微 | 0.04万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 长裕集团 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 嘉德利 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 长进光子 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 臻宝科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 4.66万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 思瑞浦 | 6.08万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 芯碁微装 | 11.51万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 富士达 | 32.91万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 6.06万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 6.59万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 杰华特 | 21.68万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 7.17万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 精智达 | 4.63万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 京仪装备 | 19.14万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 7.04万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 奥特维 | 10.49万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 南亚新材 | 7.15万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 芯碁微装 | 16.28万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 富士达 | 36.16万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 天岳先进 | 9.35万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 6.54万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 6.27万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 奥迪威 | 17.42万股 | 减持 |
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