| 2025-09-30 | 英杰电气 | 30.21万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 普源精电 | 39.3万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 11.2万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 13.05万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 13.62万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 精智达 | 9.26万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 京仪装备 | 17.05万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 赛力斯 | 16.51万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 安集科技 | 9.08万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 26.18万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 富士达 | 59.27万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 17.77万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 15.81万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 奥迪威 | 61.29万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 杰华特 | 42.78万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 明阳科技 | 9.05万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 16.83万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 芯动联科 | 20.83万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 开特股份 | 56.03万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 25.81万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 胜科纳米 | 15.3万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 开发科技 | 8.52万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 松原安全 | 20.68万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 芯碁微装 | 24.09万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 精智达 | 16.23万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 赛力斯 | 14.91万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 芯源微 | 22.78万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 英杰电气 | 25.32万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 芯碁微装 | 31.14万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 富士达 | 46.28万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 拓荆科技 | 14.48万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 华海清科 | 13.66万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 杰华特 | 43.29万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 精智达 | 17.56万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 京仪装备 | 20.52万股 | 减持 |
| 2024-12-31 | 精测电子 | 10.56万股 | 减持 |
| 2024-12-31 | 中微公司 | 4.45万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 安集科技 | 3.43万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 芯源微 | 27.93万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 英杰电气 | 42.78万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 芯碁微装 | 40.58万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 盛美上海 | 23.32万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 普源精电 | 28.04万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 拓荆科技 | 15.37万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 华海清科 | 14.54万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 杰华特 | 38.37万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 芯动联科 | 23.67万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 精智达 | 15.57万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 京仪装备 | 24.07万股 | 新进 |
| 2024-09-30 | 赛腾股份 | 10.45万股 | 减持 |
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