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| 2024-03-31 | 北方华创 | 14.36万股 | 新进 |
| 2024-03-31 | 德赛西威 | 68.78万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 联得装备 | 169.28万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 新炬网络 | 191.05万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 芯碁微装 | 81.11万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 圣泉集团 | 252.41万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 凯尔达 | 265.53万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 华海清科 | 27.53万股 | 新进 |
| 2024-03-31 | 博隆技术 | 69.57万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 国机精工 | 383.43万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 沃尔核材 | 795.7万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 广电运通 | 373.5万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 水晶光电 | 388.25万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 万马股份 | 448.74万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 雅克科技 | 73.54万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 万润股份 | 297.8万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 德赛西威 | 121.99万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 新宙邦 | 14.23万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 长亮科技 | 462.58万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 苏试试验 | 357万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 光力科技 | 198.04万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 维宏股份 | 180.32万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 联得装备 | 221.54万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 江苏雷利 | 149.48万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 赛意信息 | 8.64万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 快克智能 | 231.03万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 科瑞技术 | 260.08万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 奥特维 | 49.2万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 金宏气体 | 364万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 国盛智科 | 179.8万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 奥海科技 | 176.25万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 格林达 | 192.84万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 瑞联新材 | 114.9万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 新炬网络 | 362.96万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 芯碁微装 | 72.87万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 同飞股份 | 254.88万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 普联软件 | 208.65万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 圣泉集团 | 275.84万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 悦安新材 | 34.43万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 新瀚新材 | 347.91万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 凯尔达 | 453.66万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 景业智能 | 98.13万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 菲沃泰 | 260.35万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 路维光电 | 146.15万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 德邦科技 | 89.18万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 唯特偶 | 84.13万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 耐科装备 | 125.36万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 森泰股份 | 0.05万股 | 不变 |
| 2023-12-31 | 颀中科技 | 512.41万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 朗坤环境 | 0.08万股 | 不变 |
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