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| 2026-03-31 | 福晶科技 | 38.11万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 苏大维格 | 32.33万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 8.43万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 15.61万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 英诺激光 | 24.33万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 7.09万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 燕东微 | 34.44万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 茂莱光学 | 8.63万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 16.69万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 强一股份 | 7.09万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 福晶科技 | 43.55万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 洪田股份 | 22.77万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 9.93万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 18.4万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 腾景科技 | 8.55万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 英诺激光 | 29.55万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 8.04万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 东田微 | 3.39万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 德科立 | 2万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 茂莱光学 | 6.83万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 17.52万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 波长光电 | 19.67万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 汇成真空 | 13.55万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 艾芬达 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 昊创瑞通 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 建发致新 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 联合动力 | 0.11万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 云汉芯城 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 西安奕材 | 0.99万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 必贝特 | 0.23万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 百奥赛图 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 昂瑞微 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 沐曦股份 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 纳百川 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 健信超导 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 强一股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 新广益 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 福晶科技 | 68.79万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 奥普光电 | 41.63万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 阿石创 | 52.34万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 13.47万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 28.37万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 15.83万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 茂莱光学 | 9.48万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 34.57万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 波长光电 | 24.49万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 汇成真空 | 23.76万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 福晶科技 | 20.66万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 奥普光电 | 11.22万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 洪田股份 | 1.5万股 | 新进 |
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