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| 2025-09-30 | 福晶科技 | 68.79万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 奥普光电 | 41.63万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 阿石创 | 52.34万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 13.47万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 28.37万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 15.83万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 茂莱光学 | 9.48万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 34.57万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 波长光电 | 24.49万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 汇成真空 | 23.76万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 福晶科技 | 20.66万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 奥普光电 | 11.22万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 洪田股份 | 1.5万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 福光股份 | 21.33万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 5.95万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华辰装备 | 10.11万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 10.05万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 腾景科技 | 6.33万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中旗新材 | 3.85万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 7.01万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 茂莱光学 | 3.65万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 12.91万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 波长光电 | 11.91万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 3.72万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 汇成真空 | 8.79万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 赛分科技 | 0.08万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 兴福电子 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 海博思创 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 胜科纳米 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 福晶科技 | 14.36万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 福光股份 | 12.55万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 中微公司 | 4.05万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 华辰装备 | 8.44万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 芯源微 | 7.85万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 拓荆科技 | 4.67万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 茂莱光学 | 2.74万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 中科飞测 | 9.41万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 波长光电 | 8.32万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 汇成真空 | 5.88万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 通富微电 | 13.02万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 福晶科技 | 14.3万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 雅克科技 | 10.85万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 长川科技 | 19.24万股 | 减持 |
| 2024-12-31 | 江丰电子 | 7.66万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 永新光学 | 0.95万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 福光股份 | 10.94万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 中微公司 | 5.12万股 | 减持 |
| 2024-12-31 | 华辰装备 | 5.33万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 芯源微 | 11.15万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 拓荆科技 | 6.14万股 | 增持 |
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