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| 2025-09-30 | 福晶科技 | 30.61万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 奥普光电 | 18.36万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 阿石创 | 23万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 6.17万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 12.52万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 6.91万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 茂莱光学 | 4.19万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 14.77万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 波长光电 | 12.22万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 汇成真空 | 10.51万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 福晶科技 | 32.55万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 奥普光电 | 17.77万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 福光股份 | 33.77万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 9.29万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华辰装备 | 21万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 15.77万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 腾景科技 | 10.11万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中旗新材 | 1.08万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 10.88万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 茂莱光学 | 6万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 20.22万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 波长光电 | 19.06万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 6.2万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 汇成真空 | 13.5万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 钧崴电子 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 赛分科技 | 0.08万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 惠通科技 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 超研股份 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 兴福电子 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 海博思创 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 毓恬冠佳 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 汉朔科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 弘景光电 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 胜科纳米 | 0.05万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 浙江华远 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 福晶科技 | 29万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 福光股份 | 24.77万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 中微公司 | 8.94万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 华辰装备 | 18.66万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 芯源微 | 17.55万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 拓荆科技 | 10.51万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 茂莱光学 | 6万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 中科飞测 | 21.08万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 波长光电 | 18.22万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 汇成真空 | 12.89万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 通富微电 | 28.22万股 | 减持 |
| 2024-12-31 | 福晶科技 | 25.66万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 雅克科技 | 21.55万股 | 减持 |
| 2024-12-31 | 长川科技 | 40.11万股 | 减持 |
| 2024-12-31 | 江丰电子 | 12.38万股 | 新进 |
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