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| 2025-09-30 | 汇成真空 | 3.86万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 福晶科技 | 13.35万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 奥普光电 | 11.86万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 精测电子 | 12.9万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 福光股份 | 21.22万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 概伦电子 | 15.81万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中润光学 | 16.3万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 茂莱光学 | 1.44万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 华虹公司 | 5.14万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 波长光电 | 5.15万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 概伦电子 | 12.37万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 普冉股份 | 1.85万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 格科微 | 19.59万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中旗新材 | 7.78万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 力芯微 | 7.31万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 芯朋微 | 3.62万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 先导基电 | 24.82万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 精测电子 | 8.15万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中颖电子 | 7.55万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 3.13万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 2.93万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 宝光股份 | 16.49万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 先锋精科 | 4.7万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 汇成真空 | 2.8万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 5.93万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 波长光电 | 0.73万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 广钢气体 | 33.89万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 美利信 | 12.41万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 金海通 | 3.99万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 伟测科技 | 5.69万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 伟测科技 | 2.83万股 | 不变 |
| 2025-03-31 | 广钢气体 | 19.06万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 京仪装备 | 3.55万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 先锋精科 | 2.95万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 拓荆科技 | 2.01万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 天德钰 | 8.89万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 概伦电子 | 10.03万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 精测电子 | 5.35万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 中微公司 | 1.76万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 华海清科 | 2.11万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 芯海科技 | 0.36万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 思瑞浦 | 0.42万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 华峰测控 | 1.03万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 瑞芯微 | 1.66万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 安集科技 | 1.21万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 乐鑫科技 | 0.73万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 同兴达 | 6.4万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 北方华创 | 0.7万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 奥普光电 | 4.48万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 精测电子 | 2.28万股 | 新进 |
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