| 2025-09-30 | 北方华创 | 4.34万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 新莱应材 | 36万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 江丰电子 | 21.51万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 7.17万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 15.39万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 正帆科技 | 49.89万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 8.96万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 14.11万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 富创精密 | 27.32万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 13.65万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 3.36万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 东方财富 | 13.93万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 新莱应材 | 36.5万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 江丰电子 | 23.33万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 宏达股份 | 124.79万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 9.73万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 16.9万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 正帆科技 | 48.42万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 前沿生物 | 22.73万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 11.39万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 10.89万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 29.42万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 13.86万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 金天钛业 | 0.13万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 壹连科技 | 0.01万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 红四方 | 0.02万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 联芸科技 | 0.09万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 英思特 | 0.03万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 先锋精科 | 0.07万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 中力股份 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 天和磁材 | 0.02万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 思看科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 兴福电子 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 汇通控股 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 江南新材 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中国瑞林 | 0.08万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 天有为 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 汉邦科技 | 0.2万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 威高血净 | 0.1万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中策橡胶 | 0.09万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 影石创新 | 0.15万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 北方华创 | 3.4万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 新莱应材 | 36.5万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 江丰电子 | 24.64万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 中微公司 | 10.09万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 芯源微 | 19.42万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 正帆科技 | 48.29万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 拓荆科技 | 11.91万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 华海清科 | 11.11万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 富创精密 | 29.42万股 | 不变 |
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