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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 430790 | 增持 | 0.999 | 0.0460% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 178381 | 增持 | 0.999 | 0.0285% | 2025-12-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 50437 | 减持 | 0.380 | 0.0081% | 2025-06-30 |
| 4 | 中微半导体设备 | 88603 | 减持 | 0.750 | 0.0142% | 2024-12-31 |
| 5 | 中微半导体设备 | 362194 | 新进 | 0.999 | 0.0583% | 2024-06-30 |
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