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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 308995 | 增持 | 0.999 | 0.0330% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 207379 | 增持 | 0.999 | 0.0331% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 108634 | 新进 | 0.999 | 0.0173% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 208894 | 减持 | 0.999 | 0.0336% | 2025-03-31 |
| 5 | 中微半导体设备 | 257543 | 减持 | 0.999 | 0.0414% | 2024-12-31 |
| 6 | 中微半导体设备 | 485870 | 减持 | 0.999 | 0.0782% | 2024-09-30 |
| 7 | 中微半导体设备 | 615586 | 增持 | 0.999 | 0.0991% | 2024-06-30 |
| 8 | 中微半导体设备 | 306166 | 减持 | 0.999 | 0.0494% | 2024-03-31 |
| 9 | 中微半导体设备 | 669860 | 增持 | 0.999 | 0.1082% | 2023-12-31 |
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