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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 2736741 | 减持 | 0.999 | 0.2921% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 2789978 | 减持 | 0.999 | 0.4456% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 2917503 | 减持 | 0.999 | 0.4659% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 2989978 | 减持 | 0.999 | 0.4775% | 2025-09-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 4640181 | 增持 | 0.999 | 0.7411% | 2025-06-30 |
| 6 | 中微半导体设备 | 4181648 | 减持 | 0.999 | 0.6719% | 2025-03-31 |
| 7 | 中微半导体设备 | 4892554 | 减持 | 0.999 | 0.7861% | 2024-12-31 |
| 8 | 中微半导体设备 | 6680619 | 增持 | 0.999 | 1.0753% | 2024-09-30 |
| 9 | 中微半导体设备 | 6039266 | 减持 | 0.999 | 0.9720% | 2024-06-30 |
| 10 | 中微半导体设备 | 6202931 | 减持 | 0.999 | 1.0016% | 2024-03-31 |
| 11 | 中微半导体设备 | 7354544 | 减持 | 0.999 | 1.1876% | 2023-12-31 |
| 12 | 中微半导体设备 | 8770911 | 增持 | 0.999 | 1.4188% | 2023-09-30 |
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