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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 1775763 | 增持 | 0.999 | 0.1895% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 1483167 | 减持 | 0.999 | 0.2369% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 1665558 | 增持 | 0.999 | 0.2660% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 1600468 | 减持 | 0.999 | 0.2556% | 2025-09-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 2629837 | 增持 | 0.999 | 0.4200% | 2025-06-30 |
| 6 | 中微半导体设备 | 2502732 | 减持 | 0.999 | 0.4021% | 2025-03-31 |
| 7 | 中微半导体设备 | 3071350 | 减持 | 0.999 | 0.4935% | 2024-12-31 |
| 8 | 中微半导体设备 | 4445933 | 增持 | 0.999 | 0.7156% | 2024-09-30 |
| 9 | 中微半导体设备 | 4397471 | 减持 | 0.999 | 0.7078% | 2024-06-30 |
| 10 | 中微半导体设备 | 4662640 | 减持 | 0.999 | 0.7529% | 2024-03-31 |
| 11 | 中微半导体设备 | 5593437 | 减持 | 0.999 | 0.9032% | 2023-12-31 |
| 12 | 中微半导体设备 | 6474175 | 增持 | 0.999 | 1.0473% | 2023-09-30 |
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