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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 221502 | 增持 | 0.999 | 0.0236% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 147101 | 增持 | 0.999 | 0.0235% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 106419 | 增持 | 0.999 | 0.0170% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 95503 | 增持 | 0.999 | 0.0153% | 2025-06-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 83690 | 未变 | 0.999 | 0.0134% | 2025-03-31 |
| 6 | 中微半导体设备 | 83690 | 未变 | 0.999 | 0.0134% | 2024-12-31 |
| 7 | 中微半导体设备 | 83690 | 未变 | 0.999 | 0.0135% | 2024-09-30 |
| 8 | 中微半导体设备 | 83690 | 增持 | 0.999 | 0.0135% | 2024-06-30 |
| 9 | 中微半导体设备 | 75058 | 增持 | 0.999 | 0.0121% | 2024-03-31 |
| 10 | 中微半导体设备 | 37470 | 减持 | 0.999 | 0.0061% | 2023-12-31 |
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