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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 11312565 | 增持 | 0.999 | 1.2074% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 9194090 | 减持 | 0.999 | 1.4684% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 9693892 | 减持 | 0.999 | 1.5482% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 9937033 | 减持 | 0.999 | 1.5870% | 2025-09-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 10372058 | 增持 | 0.999 | 1.6565% | 2025-06-30 |
| 6 | 中微半导体设备 | 9384900 | 增持 | 0.999 | 1.5079% | 2025-03-31 |
| 7 | 中微半导体设备 | 9379184 | 增持 | 0.999 | 1.5070% | 2024-12-31 |
| 8 | 中微半导体设备 | 5067362 | 增持 | 0.999 | 0.8156% | 2024-09-30 |
| 9 | 中微半导体设备 | 4004653 | 增持 | 0.999 | 0.6446% | 2024-06-30 |
| 10 | 中微半导体设备 | 3416442 | 减持 | 0.999 | 0.5517% | 2024-03-31 |
| 11 | 中微半导体设备 | 4330229 | 减持 | 0.999 | 0.6992% | 2023-12-31 |
| 12 | 中微半导体设备 | 5289888 | 增持 | 0.999 | 0.8557% | 2023-09-30 |
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