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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 229553 | 增持 | 0.999 | 0.0245% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 205810 | 减持 | 0.999 | 0.0329% | 2025-12-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 308073 | 减持 | 0.999 | 0.0492% | 2025-06-30 |
| 4 | 中微半导体设备 | 317907 | 减持 | 0.999 | 0.0511% | 2025-03-31 |
| 5 | 中微半导体设备 | 328776 | 增持 | 0.999 | 0.0528% | 2024-12-31 |
| 6 | 中微半导体设备 | 277329 | 减持 | 0.999 | 0.0446% | 2024-09-30 |
| 7 | 中微半导体设备 | 286734 | 减持 | 0.999 | 0.0462% | 2024-06-30 |
| 8 | 中微半导体设备 | 289750 | 减持 | 0.999 | 0.0468% | 2024-03-31 |
| 9 | 中微半导体设备 | 321845 | 减持 | 0.999 | 0.0520% | 2023-12-31 |
| 10 | 中微半导体设备 | 380883 | 增持 | 0.999 | 0.0616% | 2023-09-30 |
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