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| 序号 | 股票 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 中科微至 | 104.97 | 减持 | 流通A股 | 0.8% | 2025-06-30 |
| 2 | 中科微至 | 206.85 | 减持 | 流通A股 | 1.57% | 2025-03-31 |
| 3 | 中科微至 | 244.95 | 减持 | 流通A股 | 1.86% | 2024-12-31 |
| 4 | 中科微至 | 316.11 | 未变 | 流通A股 | 2.4% | 2024-09-30 |
| 5 | 中科微至 | 316.11 | 未变 | 流通A股 | 2.4% | 2024-07-17 |
| 6 | 中科微至 | 316.11 | 未变 | 流通A股 | 2.4% | 2024-06-30 |
| 7 | 中科微至 | 316.11 | 未变 | 流通A股 | 2.4% | 2024-03-31 |
| 8 | 中科微至 | 316.11 | 减持 | 流通A股 | 2.4% | 2023-12-31 |
| 9 | 中科微至 | 318.40 | 未变 | 流通A股 | 2.42% | 2023-11-17 |
| 10 | 中科微至 | 318.4 | 减持 | 流通A股 | 2.42% | 2023-09-30 |
| 11 | 中科微至 | 417.9 | 减持 | 限售流通股 | 3.18% | 2023-06-30 |
| 12 | 中科微至 | 450 | 未变 | 流通A股 | 3.42% | 2023-03-31 |
| 13 | 中科微至 | 450.00 | 未变 | 限售流通股 | 3.42% | 2022-12-31 |
| 14 | 中科微至 | 450.00 | 未变 | 3.42% | 2022-11-14 | |
| 15 | 中科微至 | 450 | 未变 | 限售流通股 | 3.42% | 2022-09-30 |
| 16 | 中科微至 | 450 | 未变 | 限售流通股 | 3.42% | 2022-06-30 |
| 17 | 中科微至 | 450 | 未变 | 限售流通股 | 3.42% | 2022-03-31 |
| 18 | 中科微至 | 450 | 未变 | 限售流通股 | 3.42% | 2021-12-31 |
| 19 | 中科微至 | 450.00 | 未变 | 3.42% | 2021-10-26 | |
| 20 | 中科微至 | 450.00 | 未变 | 4.56% | 2021-10-14 | |
| 21 | 中科微至 | 450 | 新进 | 限售流通股 | 4.56% | 2020-11-25 |
| 序号 | 股票 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 中科微至 | 104.97 | 减持 | 自然人股 | 0.798% | 2025-06-30 |
| 2 | 中科微至 | 206.85 | 减持 | 自然人股 | 3.182% | 2025-03-31 |
| 3 | 中科微至 | 244.95 | 减持 | 自然人股 | 3.768% | 2024-12-31 |
| 4 | 中科微至 | 316.11 | 未变 | 自然人股 | 4.863% | 2024-09-30 |
| 5 | 中科微至 | 316.11 | 未变 | 自然人股 | 4.863% | 2024-07-17 |
| 6 | 中科微至 | 316.11 | 未变 | 自然人股 | 4.863% | 2024-06-30 |
| 7 | 中科微至 | 316.11 | 未变 | 自然人股 | 4.863% | 2024-03-31 |
| 8 | 中科微至 | 316.11 | 减持 | 自然人股 | 4.863% | 2023-12-31 |
| 9 | 中科微至 | 318.40 | 未变 | 流通A股 | 4.9% | 2023-11-17 |
| 10 | 中科微至 | 318.4 | 减持 | 自然人股 | 4.924% | 2023-09-30 |
| 11 | 中科微至 | 417.9 | 减持 | 自然人股 | 6.462% | 2023-06-30 |
| 12 | 中科微至 | 450 | 未变 | A股 | 7.02% | 2023-03-31 |
| 13 | 中科微至 | 450 | 新进 | 自然人股 | 7.005% | 2022-11-14 |
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