网友提问 ：公司子公司国林半导体获北京集成电路装备产业投资并购基金投资持股20％，其背后的出资方有京东方、也有北方华创，请问这是否代表了北京集成电路投资对咱们国林半导体的技术与发展前景的认可？也可以代表北京半导体产业对国林半导体的重视？请问这有助于公司的业务开展吗？
2025-08-13 13:15:16
国林科技最新互动问答
- EUV（极紫外光）掩膜版清洗和euv光刻胶清洗都已经开始采用先进的臭氧水清洗方式，以替代传统的rca清洗。请问euv掩膜板清洗和euv光刻胶清洗从技术原理上，对臭氧水设备的性能要求有何不同？需要达到怎样的性能？
2025-08-15 15:54:10
- 公司半导体设备产生的半导体级气体（臭氧、二氧化碳、氨气）能达到多少N的纯度？
2025-08-15 15:54:40
- 目前臭氧水清洗成为3nm以下先进制程的优选方案。目前国际东京电子（TEL）实验显示，臭氧水对EUV 光刻胶的去除率比硫酸﹣双氧水混合液(SPM）高20%，且无硫残留。台积电在3nm制程中采用臭氧水预处理，使晶圆缺陷密度降低15%。ASML的混合工艺：臭氧水+兆声波（Megasonic）协同清洗，减少物理损伤。请问公司是否了解上述行业发展？公司能否介绍一下臭氧水在3nm以下制程的优势？
2025-08-15 15:54:40
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国林科技
法定名称：青岛国林科技集团股份有限公司
公司简介：
1994年12月13日,丁香鹏、陈建明与朱若英以货币形式设立“青岛国林实业有限责任公司”。
经营范围：
专业从事臭氧产生机理研究、臭氧设备设计与制造、臭氧应用工程方案设计与臭氧系统设备安装、调试、运行及维护等业务。
注册地址山东省青岛市市北区瑞昌路168号
办公地址山东省青岛市崂山区株洲路188号甲
主营收入13400
